质量流量控制器M3700VA
质量流量控制器是半导体制造设备的关键,其利用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同气体进行流量测量及控制。 M3700VA是Line Tech推出的一款高精度的模拟式气体质量流量控制器,其通过精密的传感器和流量调节机制,实现了对气体流量的高精度、高稳定性的控制,广泛应用于生物技术、 燃料电池、环保设备、大学、实验室、研发机构和研发设备、LED 照明、金属加工等中。其可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求, 且不受环境温度及压力变化的影响。
M3700VA质量流量控制器具有以下优点:
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示:
型号 | M3700VA |
---|
范围(N2) | 1500slpm~2000slpm |
响应时间 | < 2 秒 |
准确性 | 满量程的±1% |
重复性 | ±0.25% |
输入/输出信号 | 0~5Vdc或4~20mA |
供电 | +15 或 +24Vdc,350mA |
最大工作压力 | < 6 bar |
最高工作温度 | 0~50℃ |
泄漏率 | 1X10 -9atm.cc/sec |
控制范围 | 3~100% |
连接 | “A”尺寸(毫米) |
---|
1/2 "SW | 248 |
3/4"SW | 248 |
1"SW | 256.8 |
以上是Line Tech质量流量控制器的详细信息,如果您对Line Tech质量流量控制器的价格、型号、图片有什么疑问,请联系我们深圳市现代豪方仪器仪表科技有限公司获取Line Tech质量流量控制器最新信息。