M2600VA质量流量计
M2600VA是一款高精度模拟气体质量流量计，主要用于气体流量的测量与调控。该系列流量计具有±1%的优异精度和±0.25%的重复性，能够在300SLPM至1000SLPM的广泛流量范围内运行。此外还能承受最高达90bar的压力，流量范围表现出色。同时M2500VA支持多种信号输出方式和供电选项，可适用于半导体、太阳能、光伏制造业、精密气体混合与分析等行业，应用及其广泛。
M2600VA质量流量控制器具有以下优点：
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示：
| 型号 | M2500VA |
|---|---|
| 范围(N2) | 1000slpm~2000slpm |
| 准确性 | 满量程的±1% |
| 重复性 | ±0.25% |
| 输入/输出信号 | 0~5Vdc或4~20mA |
| 供电 | +15 或 +24Vdc，350mA |
| 最大工作压力 | < 90 bar |
| 最高工作温度 | 0~50℃ |
| 泄漏率 | 1X10 -9 atm.cc/sec |
| 控制范围 | 3~100% |
| 连接 | “A”尺寸（毫米） |
|---|---|
| 1/2" SW | 209 |
| 3/4" SW | 209 |
| 1"SW | 217 |
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