M2100VA质量流量计
M系列是Line Tech术生产的第一代质量流量控制器/计量仪器(MFC/MFM)产品,一直以来都以卓越的性能和可靠性享有良好的声誉。M2100VA是Line Tech推出的一款高精度的模拟式气体质量流量计,主要用于测量和控制气体流量。该系列的流量计具有±1%的高精度和±0.25%的重复性,能够在广泛的流量范围内操作(从30SLPM到100SLPM),并且能够承受高达90bar的压力。广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光电产业、燃料电池和生物反应器等领域,并且支持多种信号输出和供电方式,应用广泛。
M2100VA质量流量控制器具有以下优点:
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示:
型号 | M2100VA |
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范围(N2) | 30slpm~100slpm |
准确性 | 满量程的±1% |
重复性 | ±0.25% |
输入/输出信号 | 0~5Vdc或4~20mA |
供电 | +15 或 +24Vdc,350mA |
最大工作压力 | < 90 巴 |
最高工作温度 | 0~50℃ |
泄漏率 | 1X10 -9 atm.cc/sec |
控制范围 | 3~100% |
连接 | “A”尺寸(毫米) |
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1/4" SW | 131 |
3/8 "SW | 134 |
1/2" SW | 133.3 |
1/4"VCR | 127 |
1/2 "VCR | 130.5 |
![M2100VA产品尺寸图.png](https://octsources.com/upload/images/ueditor/20240809/17231849783704674.png)
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