质量流量控制器M3100VA
质量流量控制器是半导体制造设备的关键，其利用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同气体进行流量测量及控制。 质量流量控制器的应用十分广泛，可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求， 且不受环境温度及压力变化的影响。M3100VA是Line Tech推出的一款高精度的模拟式气体质量流量控制器。
M3100VA质量流量控制器具有以下优点：
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示：
| 型号 | M3100VA |
|---|---|
| 范围(N2) | 30slpm~100slpm |
| 响应时间 | < 2 秒 |
| 准确性 | 满量程的±1% |
| 重复性 | ±0.25% |
| 输入/输出信号 | 0~5Vdc或4~20mA |
| 供电 | +15 或 +24Vdc，350mA |
| 最大工作压力 | < 90 巴 |
| 最高工作温度 | 0~50℃ |
| 泄漏率 | 1X10 -9大气压 立方厘米/秒 |
| 控制范围 | 3~100% |
| 连接 | “A”尺寸（毫米） |
|---|---|
| 1/4" SW | 145.2 |
| 3/8" SW | 148.5 |
| 1/2" SW | 151.8 |
| 1/4"VCR | 141.5 |
| 1/2 "VCR | 149 |
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