热板真空烘箱是一种为实现热板工艺与真空工艺在同一腔体内。同时进行而开发的设备，用于涂布后的固化工艺。
主要特点
温度： 最高300℃
温度精度： +/- 0.1℃
热板温度： +/- 2℃ 在 150℃时
工作真空度 (1.0x10^-2 托)
热板尺寸（可选） 180x180, 360x360
升温时间 5分钟内从室温升至150℃
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