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0755-26738591
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XAD-200
XAD-200

高性能全自动荧光光谱仪XAD-200

● 涂镀层检测

● 成分分析

● RoHS检测


全新上照式设计,保留原有四焦技术同时,搭载全自动大行程移动平台和影像识别功能,既能检测纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚,也可满足微区ROHS检测及全元素成分分析,无论是一个还是一批样测试都能实现精准、快速、有效。

 

性能优势

 

● 微聚焦X射线装置

搭载微聚焦加强型X射线发生器和“四焦一体”光路系统,最小测量面积可达0.03mm²

● 一机多用、精检精测

各装置高度集成,不分散、不弱化光强,能够完全兼顾ROHS、全元素分析、各种大小异形涂镀层样品的快速精准检测

● 变焦装置及位置补偿算法

可对各种异形凹槽件进行无损检测,可测凹槽深度范围:0-90mm

● 数十秒完成纳米级的薄金镀层测量

最佳的设计,实现微小区域下的高灵敏度即使在微小准直器下,也能够大幅度地提高膜厚测量的精度

● 自主研发的EFP算法

Li(3)-U(92)元素的涂镀层,多层多元素,甚至有同种元素在不同层也可精确测量


技术参数

 

型号

XAD-200

涂镀层分析

可同时分析23个镀层,24种元素,不同层有相同元素也可分析,可检测Li(3)- U(92)涂镀层90种元素

RoHS分析

有害元素检测(RoHS、卤素)

成分分析

用于各种合金及贵金属等物质中Al(13)-U(92)的80种元素成分分析

EFP算法

标配

软件操作

人性化封闭软件,自动判断故障提示校正及操作步骤,避免误操作

分析时间

1-200秒

信号及接收

标配DPP+FAST SDD

(可选配Si-Pin半导体探测器或大面积DPP+FAST SDD)

X射线装置

微聚焦加强型射线管

准直器

标配:0.1*0.3mm;φ0.3mm;φ1.2mm;φ3mm(可选配:φ0.2mm;φ0.5mm;φ1.2mm;φ3mm)

(四准直器自动切换)

微光聚焦技术

最近测距光斑扩散度小于10%

滤光片

集成嵌入式多滤光片切换装置

测量距离

具有距离补偿功能,可改变测量距离测量凹凸异形样品,可测凹槽深度范围:0-90mm

对焦方式

激光对焦,精确定位

仪器尺寸

深760mm*宽535mm*高635mm

Z轴移动范围

145mm

样品台移动

全自动高精密XY平台

可移动范围

240mm*210mm

仪器重量

120KG

其他附件

电脑一套、打印机、附件箱、十二元素片、RoHS标准片、标准片、电镀液测量杯(选配)

X射线标准

DIN ISO 3497、ASTM B 568


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