质量流量计MS2500VA
Linetech公司采用先进设备和技术,推出了一系列高性能、可靠稳定的流量控制器产品,广泛应用于高端半导体设备,太阳能光伏设备,石油化工、 医药、食品与能源等领域。MS系列比M系列更为紧凑,但并不牺牲性能。它适用于广泛的压力/温度条件,有着快速响应和高重复性的优点。MS2500VA是Line Tech推出的一款高精度的模拟式气体质量流量计,主要用于测量和控制气体流量,并且支持多种信号输出和供电方式。
MS2500VA质量流量控制器具有以下优点:
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示:
型号 | MS2500VA |
范围(N2) | 300slpm~1000slpm |
准确性 | 满量程的±2% |
重复性 | ±0.25% |
输入/输出信号 | 0~5Vdc或4~20mA |
供电 | +15 或 +24Vdc,350mA |
最大工作压力 | <90 bar |
最高工作温度 | 0~50℃ |
泄漏率 | 1X10 -9 atm.cc/sec |
控制范围 | 3~100% |
连接 | “A”尺寸(毫米) |
1/2" SW | 209 |
3/4 "SW | 210.6 |
1 "SW | 217.6 |
产品类型:热式气体质量流量控制器
模拟式气体质量流量控制器
大流量气体质量流量控制器
腐蚀性气体质量流量控制器
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