M3030VA质量流量控制器
韩国LineTech公司于2003年推出M3030系列气体质量流量控制器,这是一款采用模拟控制技术(Analog Type)的创新产品。该控制器专为气体流量的稳定调节设计,支持手动设定或通过计算机连接实现自动化控制,能在广泛的流量范围内提供快速且精准的气体流量调控。即便面临系统压力的波动或环境温度的细微变化,M3030系列仍能稳定工作,其性能表现几乎不受影响,原则上无需额外的温度和压力补偿措施。
M3030系列气体质量流量控制器具备强大的信号转换能力,可将测量到的气体流量值转换为标准的电信号输出,支持0-5V或4-20mA的输入输出范围。这一特性极大地简化了流量的数字化显示、累计流量的自动计量、数据的实时记录与电脑远程管理等操作。同时,它也为实现气体流量的精确自动控制提供了可能。基于不同的输入输出信号需求,该系列被细分为M3030V与M3030A两个型号,以满足多样化的应用场景和客户需求。
热式质量流量计/控制器用于精确测量和控制气体。它们主要用于实验室和中试工厂的仪器仪表中,流量非常小或适中。传统的流量计不适合用于这些应用。M3030VA质量流量控制器可以广泛应用在中试工厂、CVD、气体混合、燃料电池、等离子体等行业中。
M3030VA质量流量控制器具有以下优点:
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示:
型号 | M3030VA |
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范围(N2) | 0.01slpm~30slpm |
响应时间 | < 2 秒 |
准确性 | 满量程的±1% |
重复性 | ±0.25% |
输入/输出信号 | 0~5Vdc或4~20mA |
供电 | +15 或 +24Vdc,350mA |
最大工作压力 | < 90 巴 |
最高工作温度 | 0~50℃ |
泄漏率 | 1X10 -9atm.cc/sec |
控制范围 | 3~100% |
连接 | “A”尺寸(毫米) |
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1/8" SW | 126.7 |
1/4" SW | 128 |
3/8" SW | 134.3 |
1/4"VCR | 127.8 |
![M3030VA产品尺寸图.png](https://octsources.com/upload/images/ueditor/20240809/17231692329393135.png)
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