Plasma离子体设备
产品：Plasma离子体设备
等离子体设备主要用于太阳能电池的表面处理，以及半导体、显示器、薄膜、触摸屏等平面产品的表面清洗，以提升粘接强度。
主要特点
等离子体模组： 最大 2,500mm
电源： RF, MF, LF, DC
工业间隙: 最小 2 ~ 最大7mm
工艺气体: Ar, O2, N2 等
速度： 10mm/s ~ 100mm/s
操作： 自动或手动
