AWS A20 Research Platform®测试系统基于声波传感原理，可通过石英传感器频率变化和导纳-频率特征谱来检测芯片表面质量和结构变化，适用于刚性和粘弹性薄膜。具有倍频操作模式，可给出薄膜的粘度，弹性模量，粘性模量，厚度等信息。倍频曲线也可以用来表征薄膜的均匀性，用来评价沉积方法。测试频率高达160MHz，灵敏度可达 0.05ng/cm²。
品牌：AWSensors
型号：AWS A20 RP
类型：AWS多参数石英晶体微天平
1、腐蚀研究
2、电镀研究
3、沉积层厚度测试
4、锂离子电池评价
5、表面涂层研究
6、纳米粒子吸脱附
7、离子和溶剂的传输
8、表面活性剂去污能力评价
传感器通道数 | 1-4 个 |
频率范围 | 5-160MHz |
频率分辨率 | 0.001Hz |
频率稳定性 | ±0.05ppm ，0 - 50°C范围内 |
相位分辨率 | ＜0.001° |
振幅分辨率 | 0.15mV |
传感器晶体 | 5MHz/10MHz，直径14mm ，AT切割，最高13倍频 |
质量灵敏度 | 0.05ng/cm2 |
耗散灵敏度 | ~3×10-8 |
温度范围 | 20-40°C ，软件控制，精确度为0.01°C |
尺寸/重量 | 32×75×45cm（HWD）/25Kg |
分析模型 |
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样品池采用专利的Q-Lock设计，该设计可控制传感器上方的压力以保证高频率测试时的稳定性与高低频谐波的最小失真，同时操作简单方便可避免操作误差，无论多少次开关样品池，测试都将是重复可靠的。同时AWS可提供整套的EQCM实验方案，通过增加电化学样品池与配套电化学工作站，AWS Suite®软件可实时同步采集两者信号，完美实现电化学与QCM的同步测试。
