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日本SCREEN Holdings公司及单片清洗机产品介绍
2026-08-28
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日本SCREEN Holdings是源自日本的综合性高端装备集团,可通过给出的官方网站查阅企业与产品相关资料,集团扎根精密微加工与图像处理两大核心技术,业务布局覆盖半导体制造装备、印刷图形设备、显示面板生产设备、电路板加工机械,同时拓展生命科学与新能源装备相关业务,集团旗下半导体解决方案事业部聚焦晶圆湿法处理装备的研发制造,拥有从设备设计、工艺开发到整机量产交付的完整体系,能够适配逻辑芯片、存储芯片、功率器件等各类半导体产品的生产诉求,面向全球各地的半导体工厂提供整机设备以及配套工艺技术服务。


日本SCREEN Holdings的单片清洗机以 SU 系列作为主力产品谱系,包含 SU‑2000、SU‑3200、SU‑3300、SU‑3400 多款核心机型,全部采用堆叠模块化腔体架构,能够按照产线实际产能灵活调整腔体配置,SU‑2000 面向中小尺寸晶圆,主打高性价比,兼容常规晶圆与薄型晶圆的夹持处理,借助扫描喷射技术保障蚀刻的均匀程度,SU‑3200 可扩展至多组工艺腔体,配备两种不同类型的药液供给系统,能够灵活调整药液供给布局,搭载专属的腔体氛围管控技术,优化腔体内气流环境,搭配无水印干燥模块,减少化学药液飞溅带来的污染问题,SU‑3300 进一步拓展腔体配置上限,迭代升级腔体内部的洁净管控技术,搭配纳米级喷嘴提升蚀刻均匀性,依托新型干燥工艺降低高深宽比精细图形发生坍塌的风险,持续稳定管控腔室之间的工艺一致性,SU‑3400 在继承前代清洗性能的基础之上重新优化腔体尺寸与整机排布,压缩设备占地面积,升级晶圆传输机构提升单位空间内的处理效率,同步优化清洗喷嘴与药液循环体系,减少化学品消耗,全系列机型都可以完成颗粒去除、金属杂质剥离、光刻胶残渣清除等多种清洗工序,设备还可以根据客户的工艺需求调整内部工艺模块,配套对应的工艺调试资料,适配不同制程硅晶圆的量产,部分机型还可经过配置调整适配碳化硅、氮化镓等化合物半导体晶圆的清洗处理。





日本SCREEN Holdings公司主要产品型号如下,欢迎咨询选购:





一、半导体单片式清洗设备

1.SU‑2000

2.SU‑3200

3.SU‑3300

4.SU‑3400


二、旋转刷洗清洗设备

1.SS‑80EX

2.SS‑3200

3.SS‑3300S


三、晶圆背面清洗设备

1.SB‑3300


四、旋转处理设备

1.SP‑2100


五、槽式湿法清洗设备

1.CW‑2000

2.WS‑620C

3.WS‑820C

4.WS‑820L

5.FC‑821L

6.FC‑3100


六、涂胶显影设备

1.RF‑200EX

2.RF‑300EX

3.SK‑60EX

4.SK‑80EX

5.DT‑3000

6.SC‑80EX


七、薄膜测量检测设备

1.VM‑1020

2.VM‑1200

3.VM‑1300

4.VM‑2500

5.VM‑3500

6.RE‑3500

7.ZI‑2000

8.ZI‑3600


八、快速退火设备

1.LA‑3100


九、半导体封装直接成像设备

1.DW‑3000

2.DW‑3100


十、PCB 电路板直接成像设备

1.Ledia 6

2.Ledia 8F

3.Ledia Qs

4.LUPIOS


十一、电路板光学检测设备

1.MIYABI 7

2.FP‑9000

3.FP‑mini92


十二、显示面板涂布设备

1.SK‑P1501G

2.SK‑P2200G

3.LC‑R300G

4.LC‑R400G


十三、图形艺术印刷设备

1.PT‑R8800

2.PT‑R8600

3.PT‑R8300


十四、新能源涂布设备

1.RT‑350F

2.RT‑700F




其他注意事项:

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取,欢迎咨询。

我公司自营进出口权,直接海外采购,国外现货航空件几天就能交到您的手中。



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