法国RIBER是来自法国的专业分子束外延设备制造企业，企业专注超高真空外延装备的研发制造，产品覆盖科研级设备到工业化量产反应器，面向化合物半导体、光电子、量子材料等领域，同时配套各类源炉、真空配件，提供设备升级维护、工艺开发等全套技术服务，为全球科研机构与半导体厂商提供外延生长整套解决方案。

法国RIBER分子束外延系统分为科研实验机型、中试量产机型以及面向特殊异质结构研究的专用平台，包含 Compact21、Supra、MBE‑49、MBE6000‑Multi、MBE8000、ROSIE 多款设备，Compact21 属于紧凑型科研机型，腔体可以搭载多组蒸发源与射频等离子源，配备原位衍射分析组件，主要用于实验室开展砷化物、锑化物、氮化物等各类半导体材料的基础研究，Supra 是面向量子材料的混合工艺平台，能够在同一超高真空腔体内部完成半导体与超导体异质薄膜的制备，适配量子比特相关的前沿科研工作，MBE‑49 属于早期量产设备，支持多片晶圆同时加工，多用于光电器件的中试生产，MBE6000‑Multi 是成熟的量产平台，拥有较大的装载容量，兼顾外延薄膜的均匀性与设备运行稳定性，适合激光器、探测器等光电子芯片的批量制备，MBE8000 为新一代大产能工业机型，进一步提升晶圆处理数量，优化薄膜厚度与组分的一致性，面向规模化的化合物半导体产线，ROSIE 平台适配大尺寸硅基衬底，用于硅光芯片的异质外延工艺开发，整套设备全部搭建超高真空腔体，可根据用户的材料体系选配裂解源炉、等离子源、各类掺杂源，搭配晶体生长控制软件，能够实现原子层级精度的薄膜生长，企业也可以针对特殊的衬底规格、材料体系对腔体配置与源炉布局进行定制调整，适配不同科研与工业化生产场景。

法国RIBER公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：

一、分子束外延 MBE 整机系统

Compact21 科研型 MBE 系统

Supra 量子异质结构 MBE 平台

MBE‑49 量产型 MBE 系统

MBE6000‑Multi 量产 MBE 系统

MBE8000 大产能工业 MBE 系统

ROSIE 硅光异质外延 MBE 平台

二、MBE 蒸发源与等离子源组件

ABN 系列热蒸发源炉

VAC 阀控裂解源炉

KPC 磷裂解源炉

VRF‑X 系列射频等离子源

RF‑H600 射频氢等离子源

HAT 原子氢裂解源

VCOR 腐蚀性材料专用源炉

MCL 汞恒液位源炉

HTI 高温注入源

LTI 低温注入源

三、原位分析及配套配件

RHEED 原位衍射检测组件

残余气体分析模块

光学高温测温组件

液氮低温屏蔽组件

EZ‑CURVE 样品曲率测量模块

四、OEM 真空蒸发源

S40 ST 系列蒸发源

S100 CL 系列蒸发源

S150 大容量蒸发源

S250 DZ 大容量蒸发源

五、设备控制软件

CRYSTAL XE 系统控制软件

S3PC 制程控制系统

六、技术服务项目

MBE 设备安装调试服务

腔体与源炉升级改造服务

外延工艺开发技术支持服务

整机维护与备件更换服务

设备现场培训技术服务

其他注意事项：

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。

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