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美国 Advanced Energy公司及等离子体刻蚀机射频电源
2026-04-23
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美国Advanced Energy是全球精密电力转换、测量与控制解决方案领域的领军企业,专注于为半导体制造、平板显示、数据存储、太阳能电池、建筑玻璃等先进工业领域提供高度工程化的电源产品与技术支持。公司始终致力于完善电源技术,凭借在等离子体工艺领域的深厚积累,为客户提供无与伦比的功率控制能力、尖端匹配技术以及经实践验证的功率传送解决方案。其核心业务围绕等离子体电源、直流电源、脉冲电源、温度控制仪器及功率测量设备展开,通过数字化架构与创新控制算法,帮助客户在严苛的工艺环境中实现更高的生产效率与工艺一致性。Advanced Energy以推动行业创新为使命,通过与全球客户建立紧密合作关系,持续开发突破性产品,满足不断演进的技术需求,成为众多行业客户信赖的精密电源技术合作伙伴。公司依托全球化的销售与服务网络,结合本地化的技术支持团队,为客户提供从系统设计到现场应用的全流程解决方案,助力客户在先进制造领域保持竞争优势。

Advanced Energy针对等离子体刻蚀工艺推出了涵盖Cesar、APEX、Paramount、eVerest等多个系列的射频电源产品,适配从基础刻蚀到

高深宽比结构刻蚀等不同应用场景的严苛要求。Cesar系列作为经典产品线,包含多个细分型号,覆盖常见的射频频段,功率输出范围可满

足不同规模的刻蚀需求,具备稳定的功率输送性能与多样化的模式选择,用户可根据具体应用选择合适的组件配置,无需漫长的定制周期,

其功率精度控制在较高水平,支持多种用户界面与输入选择,适配标准的远程控制接口,兼容半导体设备行业规范,同时配备全面的保护机

制,保障工艺过程的稳定与安全。APEX系列射频电源以标准频段为核心,功率输出覆盖中等至较高水平,采用紧凑的机架式设计,兼顾高

功率密度与安装灵活性,支持半机架与全机架两种安装方式,具备快速的设定点响应与脉冲上升下降时间,配合智能匹配网络与同步控制技

术,确保与刻蚀设备的系统兼容性,助力提升工艺重复性与均匀性。Paramount系列作为面向核心等离子体应用的高端产品,提供更宽的功

率范围与频率覆盖,其数字架构支持多种集成场景,配备标准的串行与模拟接口及可选的通信接口,能够满足高深宽比器件制造所需的高等

离子体密度与离子能量要求,加速半导体工艺设备向更高技术节点演进。eVerest系列则专注于提供埃级精度的功率控制,具备可配置的多

级脉冲功能,支持瞬时或用户自定义的过渡时序,其基于模型的高速高精度频率调谐技术拥有较宽的频率扫描范围,可提供更快的设定点响

应与脉冲状态起始时的受控过冲,显著提升工艺稳定性与控制精度,该系列还集成了先进的电弧管理功能与多种通信接口,适配工业物联网

平台,支持实时数据收集、分析与可视化,优化故障排查与决策流程。全系列射频电源均采用强制水冷方式,确保在持续运行中的热稳定性

,通过模块化设计与灵活的配置选项,可适配不同刻蚀设备的安装与控制需求,助力提升工艺一致性与生产效率,为半导体刻蚀工艺提供可

靠的动力核心。



美国Advanced Energy公司主要产品型号如下,欢迎咨询选购:



 一、等离子电源产品

 1. 射频等离子体发生器

1.  Cesar 系列

2.  APEX 系列

3.  Paramount 系列

4.  eVerest 系列

5.  RFG 系列

6.  RFX 系列

7.  RFPP 系列

8.  Navigator 系列

9.  Crystal 系列


 2. 射频匹配网络

1.  AutoMatch 系列

2.  MatchNet 系列

3.  RF Match 系列

4.  SmartMatch 系列


 3. 脉冲和直流电源系统

1.  Pinnacle 系列(含 Pinnacle Plus+、Pinnacle3000、Pinnacle Diamond™)

2.  Ascent 系列(含 Ascent AP 先进脉冲电源)

3.  MDX 系列(500W、1kW、1.5kW)

4.  PDX 系列

5.  PEII 低频系列

6.  LFGS 系列

7.  RAS 系列


 4. 远程等离子体源

1.  RPS 系列

2.  RemotePlasma 系列


 二、交流-直流(AC-DC)电源

 1. 开放式低功率 AC-DC 电源

1.  LPP 系列

2.  AIF 系列

3.  NCF 系列(医疗级)


 2. 可配置模块化电源

1.  CoolX 系列

2.  NeoPower 系列

3.  CSU 系列(1800W-2400W)


 3. 封闭式电源与外部适配器

1.  SLE 系列(如 SLE33 USB-PD 适配器)

2.  SLB 系列(如 SLB350、SLB1000)

3.  UltraVolt 系列


 4. 特种 AC-DC 电源

1.  电容器充电器

2.  传导式散热电源

3.  DIN 导轨式电源

4.  AC 输入密封封装和 PCB 安装电源

5.  可编程实验室电源



 三、直流-直流(DC-DC)电源

 1. 高压 DC-DC 转换器

1.  30LE24 系列(超高压 30kV)

2.  20LE24 系列(精密 20kV)

3.  30EFL12 系列(浮动热板低压电源)

4.  AEQ 系列


2. 工业级与医疗级 DC-DC 电源

1.  NDQ 系列(如 NDQ1300、NDQ1600 四分之一砖)

2.  非隔离 POL DC-DC 电源

3.  400Vdc 高压输入模块

4.  UltraVolt 高压 PCB 安装型模块



 四、功率控制与测量产品

 1. 可控硅功率控制器(SCR)

1.  Thyro 系列(含 Thyro-PX、Thyro-XD、Thyro-Family)

2.  工业级 SCR 控制器

3.  半导体专用 SCR 控制器


 2. 射频功率测量仪器

1.  TEGAM 系列高功率 RF 热量计

2.  RF 功率传感器

3.  射频测量仪表


 3. 温度测量与控制

1.  Impac 系列高温计

2.  Sekidenko 系列光纤温度计(如 4100T)

3.  非接触式温度传感器

4.  热成像仪



五、高压电源与放大器

 1. 高压电源系统

1.  D-Series 高压电源

2.  FC1500 高压电源

3.  E-Chuck 半导体专用电源

4.  定制高压解决方案


 2. 高压放大器

1.  Trek 系列高压放大器

2.  精密高压放大模块



其他注意事项:

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取,欢迎咨询。

我公司自营进出口权,直接海外采购,国外现货航空件几天就能交到您的手中。


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