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日本 Hitachi High-Tech公司及刻蚀设备
2026-04-26
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日本Hitachi High-Tech是一家以观测、测量与分析为核心技术的全球高科技企业,总部位于日本东京,在半导体制造、生命科学、环境监测、先进材料与工业基础设施等多个领域提供全面解决方案。公司依托日立集团深厚的技术积累,将精密制造能力与创新研发精神相结合,致力于为全球客户解决各类复杂技术挑战,推动社会向可持续方向发展。其业务版图覆盖半导体制造设备、临床分析仪器、生物技术产品、分析测量仪器等多个领域,通过整合前沿技术与行业经验,为移动终端、家用电器、汽车、能源等产业提供关键支撑。日立高新技术秉持开放合作的理念,在全球多地建立研发与生产基地,凭借本地化的技术支持团队与全球化的服务网络,为客户提供从设备选型到现场应用的全流程支持,成为众多行业客户信赖的合作伙伴。公司始终以技术创新为驱动力,不断探索原子级精度的制造与测量技术,助力半导体等先进制造业向更高技术节点迈进,为构建更高效、更环保的未来工业体系贡献力量。

日立高新技术的刻蚀设备产品线丰富,涵盖导体刻蚀、DCR等方性刻蚀等多个系列,适配从成熟制程到先进三维器件制造的各类需求。导体刻蚀设备方面,M-600/6000系列采用微波电子回旋共振方式实现高密度等离子体,适合数字移动设备、白色家电、汽车及轨道交通等领域使用的半导体器件制造,提供稳定的刻蚀性能与良好的工艺重复性。M-8000系列专为32纳米世代以后的硬掩模与硅材料加工设计,可搭载多个腔室,适配300毫米晶圆,兼顾高产能与高精度,满足中端先进制程的严苛要求。9000系列则面向20纳米世代以后的先进器件,支持双重图案、三维结构及新材料的高精度复杂工艺,包括后道处理与保护膜形成,采用模块化串接式平台,可整合多个腔室,提升生产效率与工艺灵活性。最新推出的DCR刻蚀系统9060系列,专为先进三维器件的原子级等方性加工打造,其独特的晶圆冷却机制与红外灯集成在单一真空反应室内,可使晶圆温度在低温与高温间快速交替,实现各类材料的高等产率等方性刻蚀,同时降低设备占地面积。该系列还通过等离子体与晶圆台之间的离子屏蔽板排除离子,仅让化学反应性自由基到达晶圆表面,结合温度快速切换技术,实现高精度等方性加工,满足环绕栅极与三维闪存等先进结构对水平方向刻蚀的精确控制需求。全系列刻蚀设备均配备先进的工艺控制系统与实时监控功能,支持远程操作与数据管理,帮助客户提升工艺稳定性与生产效率,适配半导体制造向更微小、更复杂结构演进的发展趋势。



日本Hitachi High-Tech公司主要产品型号如下,欢迎咨询选购:



一、半导体制造与测量仪器

1. 刻蚀设备系列

1.  导体刻蚀设备

    - M-600/6000系列

    - M-8000系列

    - 9000系列

2.  DCR等方性刻蚀系统

    - 9060系列

    - 9000系列DCR型号


 2. 电子束测量系统

1.  高精度电子线计测系统

    - GT2000系列(测长SEM)

    - CV7300系列(高加速电压CD-SEM)

    - CG6000系列(关键尺寸测量系统)


 3. 晶圆检测与处理设备

1.  晶圆检测系统

    - WI系列(晶圆表面检测)

    - WM系列(晶圆边缘检测)

2.  晶圆处理设备

    - 晶圆清洗系统

    - 晶圆干燥设备

    - 晶圆传输系统


 4. 先进封装与功率半导体设备

1.  封装检测设备

    - 封装外观检测系统

    - 封装尺寸测量系统

2.  功率半导体制造设备

    - 功率器件刻蚀系统

    - 功率器件沉积设备



 二、电子显微镜与聚焦离子束系统

 1. 透射电子显微镜(TEM/STEM)

1.  场发射透射电子显微镜

    - HF5000系列

    - HT7800系列(生物专用)

    - HT7700系列(通用型)

2.  高分辨透射电子显微镜

    - HF3300系列

    - HF2100系列


 2. 扫描电子显微镜(SEM)

1.  超高分辨肖特基场发射SEM

    - SU8600系列

    - SU8700系列

    - SU8800系列

2.  紧凑型扫描电子显微镜

    - FlexSEM系列

    - TM3030系列

    - TM4000系列


 3. 聚焦离子束系统(FIB/FIB-SEM)

1.  双束聚焦离子束系统

    - NX5000系列

    - NX9000系列

    - NX50000系列(高端双束系统)

2.  三束聚焦离子束系统

    - NX系列Triple Beam System

    - FB系列FIB系统


4. 辅助设备

1.  离子研磨仪

    - ArBlade 5000系列

    - IM4000II系列

2.  样品制备系统

    - 冷冻切片机

    - 真空镀膜仪

    - 离子溅射仪



 三、分析测量仪器

 1. 光谱分析仪器

1.  紫外/可见/近红外分光光度计

    - UH4150 AD+系列

    - U-3900系列

    - UH3900S/UH3900D系列

2.  荧光分光光度计

    - F-7100系列

    - F-4700系列

    - F-2700系列

3.  X射线光谱仪

    - AZtec系列

    - Quantax75系列

    - X-MET8000系列(便携式XRF)


2. 色谱分析仪器

1.  高效液相色谱仪

    - Primaide系列

    - Chromaster系列

    - Elite LaChrom系列

2.  气相色谱仪

    - GC-2010 Plus系列

    - GC-2030系列


3. 热分析仪器

1.  同步热重分析仪

    - NEXTA STA系列(STA200、STA300)

2.  差示扫描量热分析仪

    - DSC7000X系列

    - DSC7020系列

3.  动态机械粘弹性热分析仪

    - DMA7100系列

4.  机械热分析仪

    - TMA7100系列

    - TMA7300系列


 4. 元素分析仪器

1.  原子吸收光谱仪

    - ZA3000系列

    - Z-2000系列

2.  ICP质谱仪

    - PQ9000系列

    - PQ8000系列

3.  金属分析仪

    - Vulcan系列(手持式XRF)

    - MASTER系列(便携式OES)



 四、医疗健康产品

1. 临床分析仪器

1.  全自动生化免疫分析仪

    - cobas pro系列

    - LABOSPECT系列

2.  血液分析系统

    - 全自动血液细胞分析仪

    - 凝血分析系统

3.  尿液分析系统

    - 全自动尿液分析仪

    - 尿沉渣分析系统


 2. 医疗检测设备

1.  微生物检测系统

    - 快速微生物检测系统

    - 细菌鉴定系统

2.  病理诊断设备

    - 数字病理切片扫描仪

    - 病理图像分析系统



 五、生命科学产品

1. 原子力显微镜(AFM)

1.  全自动型原子力显微镜

    - AFM5500M系列

    - AFM5200系列

2.  通用多功能原子力显微镜

    - AFM5300系列

    - AFM5100系列

3.  环境多功能原子力显微镜

    - AFM5400系列

    - AFM5600系列


 2. 生物成像系统

1.  激光共聚焦显微镜

    - FLUOVIEW系列

2.  超高分辨率显微镜

    - SIM超高分辨显微镜

    - STED超高分辨显微镜


3. 生物分析仪器

1.  实时荧光定量PCR仪

    - Thermal Cycler Dice系列

2.  基因测序仪

    - 高通量基因测序系统

    - 单分子测序系统



其他注意事项:

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取,欢迎咨询。

我公司自营进出口权,直接海外采购,国外现货航空件几天就能交到您的手中。


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