美国Entegris是一家总部位于美国的全球领先材料科学企业，专注于为半导体、生命科学及其他高科技行业提供关键性材料管理解决方案。公司以材料纯度与精密控制技术为核心，深耕半导体制造全流程，通过研发、生产与服务一体化模式，为客户提供从气体、液体过滤到特种化学品、晶圆承载运输等全链条产品与技术支持。其光刻胶过滤器、CMP研磨液、气体纯化系统等核心产品，广泛应用于先进芯片制造工艺，助力客户实现更高良率与更优器件性能。公司在全球设有研发、制造与客户服务设施，凭借深厚的技术积累与行业经验，持续推动半导体技术节点升级，是支撑全球半导体产业发展的关键合作伙伴。
Entegris的半导体级光刻胶过滤器系列专为芯片制造中光刻胶及相关光化学溶剂的超纯净过滤设计，覆盖从传统工艺到先进极紫外光刻的全场景需求，核心产品包括Impact系列、Optimizer系列、Microgard系列与Torrento系列等。Impact系列分为Impact 8G与Impact 2 V2，其中Impact 8G适用于小于28纳米的先进光刻节点，配备Duo膜结构可实现1纳米级精准过滤，同时保障点胶过程中的高洁净度与稳定流量；Impact 2 V2则适配28至250纳米工艺节点，具备出色的污染物截留能力与耐用性。Optimizer系列包含DEV、D与ST等型号，采用超纯聚乙烯材质，过滤精度覆盖0.1至0.2微米，适配不同光刻工艺的流量与纯度要求，其中ST型号提供长寿命胶囊式设计，满足大规模生产的连续运行需求。Microgard系列的UPE/UPX型号为大容量 bulk 过滤器，专为45至180纳米工艺开发，兼具高流量与高效污染物控制能力，可有效降低光刻缺陷。Torrento系列则针对小于22纳米的尖端工艺优化，搭载FlowPlane线性流技术，显著提升流量性能与过滤洁净度，同时强化分子污染控制，为极紫外光刻等前沿技术提供可靠的光刻胶过滤保障。全系列产品均通过严格的洁净生产与质量检测，确保极低微粒释放与化学兼容性，为半导体光刻工艺提供从粗滤到精滤的全流程解决方案，有效保障光刻图形精度与芯片制造良率。
美国Entegris公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：
一、液体过滤与净化产品
1. 光刻胶专用过滤器系列
1. Impact系列
1. Impact 8G
2. Impact 2 V2
3. Impact Plus
4. Impact ST
2. Optimizer系列
1. Optimizer DEV
2. Optimizer D
3. Optimizer ST
3. Microgard系列
1. Microgard UPE/UPX
2. Microgard Gen 1 UPE
4. Torrento系列
1. Torrento X
2. Torrento
5. 其他光刻胶过滤器
1. Fluorogard RS-M
2. Fluorogard RS-T
3. Wafergard F
2. 通用液体过滤器
1. Planargard系列
2. LiquidLens脱气设备
3. Purasol系列金属离子净化器
1. Purasol LS2
2. Purasol SP
3. Purasol SN
二、气体过滤与净化系统
1. 气体过滤器
1. Wafergard系列
1. Wafergard 1.5” W-Seal
2. Wafergard III NF-75
3. Wafergard II SF
2. Linegard Micro系列
3. VaporSorb系列
1. VaporSorb CSP-32
2. VaporSorb C
2. 气体纯化器
1. O2S氧气纯化器
2. HCL氯化氢气体纯化器
3. Aeronex系列气体净化系统
三、流体管理系统
1. 阀门产品
1. CR/CH系列阀门
1. CR4系列手动阀门
2. CR4系列气动阀门
2. NT比例控制阀
1. NT 6300
2. NT 6500
3. NT 6510
3. Integra Plus系列阀门
1. Integra Plus WS
2. Integra手动阀门
4. Galtek SG系列堆叠阀门
5. Accuflo™针阀/计量阀
2. 流量与压力控制
1. InVue集成流量控制器
1. InVue 6550
2. InVue GV148
3. InVue CR288
4. InVue NT4400
2. NT压力传感器
3. 差压式流量计
3. 分配与输送系统
1. IntelliGen ULV分配系统
2. 光化学分配系统
3. 高粘度材料处理系统
四、晶圆处理与承载产品
1. 晶圆载具
1. STAT-PRO®系列
1. STAT-PRO 100
2. STAT-PRO 3000
2. 前开式统一晶圆盒（FOUP）
3. 200mm/300mm晶圆运输盒
2. 晶圆运输器
1. H93系列单晶圆运输器
2. H22/H20系列单晶圆运输器
3. Ultrapak薄晶圆系列
4. Z200系列单晶圆运输器
3. 专用处理产品
1. 探针卡清洁（PCC）
2. 卡盘清洁晶圆（CCW）
3. 晶圆边缘清洁刷
五、特种化学品与工程材料
1. 半导体清洁溶液
1. ST系列清洁溶液
1. ST-200
2. ST-28M
2. ESC系列清洁溶液
1. ESC 784
3. PlanarClean清洁解决方案
4. SP-100清洁溶液
2. 沉积与表面处理材料
1. 先进沉积前驱体
2. 特种有机金属材料
3. 有机硅烷材料
4. Pegasus 500系列涂层
3. 高性能材料
1. 优质石墨
2. 碳化硅（SiC）
3. 特种涂层材料
六、生命科学产品
1. 一次性组件
1. 生物反应器组件
2. 细胞培养微载体系统
3. 单用途过滤/筛网袋系统
2. 生物处理耗材
1. 培养基过滤系统
2. 生物样本储存容器
3. 细胞分离系统
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
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