Kosaka Laboratory Ltd.（小坂研究所株式会社）成立于 1936年，总部位于日本东京，是表面粗糙度测量与形貌分析仪器领域的全球领先企业。公司专注于高精度接触式/非接触式表面测量技术，产品广泛应用于汽车、精密加工、半导体、光学元件和科研等领域。
核心技术：
接触式表面粗糙度仪（Surftest系列）
非接触式光学轮廓仪（Surfcom系列）
3D形貌测量系统（基于白光干涉、激光共聚焦技术）
行业地位：日本市场份额第一，全球高端表面测量设备核心供应商之一。
Surfcom系列 是Kosaka的非接触式光学表面粗糙度/轮廓测量系统，采用白光干涉（WLI）、激光共聚焦（CLI）等技术，适用于超精密加工、半导体、光学镀膜、MEMS等领域的表面形貌分析。
| 型号 | 垂直分辨率 | 横向分辨率 | 测量范围（Z轴） | 特点 |
|---|---|---|---|---|
| Surfcom 1800A | 0.1 nm | 0.5 μm | 0.1 mm ~ 10 mm | 通用型，高性价比 |
| Surfcom 1900DX | 0.05 nm | 0.3 μm | 0.05 mm ~ 15 mm | 高精度，动态范围大 |
| Surfcom 2000NX | 0.01 nm | 0.1 μm | 0.01 mm ~ 20 mm | 纳米级分辨率，科研级 |
| 型号 | 垂直分辨率 | 横向分辨率 | 最大倾斜角 | 特点 |
|---|---|---|---|---|
| Surfcom 3000CL | 1 nm | 0.2 μm | ±85° | 高反射表面测量（如金属、镜面） |
| Surfcom 3500CLI | 0.5 nm | 0.1 μm | ±87° | 超高速扫描（适用于产线检测） |
| 型号 | 视场（FOV） | 最大阶跃高度 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| Surfcom 5000WX | 10 mm × 10 mm | 5 mm | 晶圆、平板显示器 |
| Surfcom 6000TS | 5 mm × 5 mm | 10 mm | 涡轮叶片、三维微结构 |
| 型号 | 测量速度 | 自动化接口 | 特点 |
|---|---|---|---|
| Surfcom 4000A-AC | 10 sec/scan | Robot Arm (Kuka/FANUC) | 集成式工业自动化 |
| Surfcom 4500AI | 5 sec/scan | AI缺陷分类 | 智能质检 |
| 型号 | 功能 |
|---|---|
| LENS-50X | 50倍长工作距物镜（WD=8 mm） |
| STG-200 | 防振台（隔振频率≤1 Hz） |
| CAL-N15 | NIST可溯源标准校准件（Ra 15 nm） |
| 软件名称 | 功能 |
|---|---|
| Surfcom Vision | 3D形貌可视化、粗糙度参数（Ra/Rz/Sa/Sq）计算 |
| Surfcom Analyzer Pro | 高级纹理分析、功率谱密度（PSD） |
选型建议：
白光干涉仪（WLI）适合光滑表面（Ra < 1 μm）
激光共聚焦（CLI）适合高反射/粗糙表面（Ra > 1 μm）
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
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