KLA Corporation 是全球领先的半导体检测与量测设备供应商，成立于1976年，总部位于美国加利福尼亚州米尔皮塔斯（Milpitas）。公司专注于芯片制造过程中的缺陷检测、计量和过程控制，客户包括台积电（TSMC）、三星（Samsung）、英特尔（Intel）等顶级半导体厂商。
核心技术：晶圆检测、光刻量测、缺陷分析、大数据过程控制。
行业地位：全球半导体检测设备市场占有率超过50%，是行业绝对领导者。
产品应用：覆盖逻辑芯片、存储芯片、先进封装、化合物半导体等制造环节。
WaferSight 5 是KLA推出的高精度晶圆振动监测系统，用于半导体制造设备（如光刻机、CMP）的振动分析与控制，可提升晶圆加工精度和良率。
| 型号 | 测量维度 | 适用场景 |
|---|---|---|
| WS5-100 | 单轴（Z方向） | 垂直振动监测（如CMP抛光机） |
| WS5-200 | 双轴（X/Y方向） | 水平振动监测（如光刻机平台） |
| WS5-300 | 三轴（X/Y/Z） | 全向振动分析（高精度设备校准） |
| 型号 | 带宽 | 分辨率 | 特点 |
|---|---|---|---|
| WS5-500HF | 0-10 kHz | 0.1 nm | 高频振动监测（适用于EUV光刻机） |
| WS5-600UPM | 0-20 kHz | 0.05 nm | 超精密模式（3D IC封装监测） |
| 型号 | 工作温度 | 防护等级 | 适用环境 |
|---|---|---|---|
| WS5-400CLEAN | 15-28°C | ISO Class 1 | 洁净室专用（防微粒污染） |
| WS5-450VAC | 10-40°C | IP54 | 真空兼容（蚀刻/沉积设备） |
| 型号 | 功能 |
|---|---|
| WS5-SW | 分析软件（实时FFT/趋势分析） |
| WS5-CAL | 校准套件（NIST可溯源） |
| WS5-MNT | 磁吸/真空安装支架 |
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
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