Bronkhorst 是一家全球领先的流体测量与控制技术公司，成立于1981年，总部位于德国鲁尔蒙德（Ruhrort）。公司专注于质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）、压力控制器（PC）和蒸发系统，产品广泛应用于半导体、化工、制药、能源和科研领域。

核心技术优势

  热式质量流量测量（基于恒温差原理，直接测量气体质量流量）。

  压电式流量控制（高精度、低流量控制）。

  模块化设计，支持多种通信协议（如 RS-232、PROFIBUS、EtherCAT）。

MASS-STREAM® D-6300（微型热式流量计）产品:

MASS-STREAM® D-6300 是 Bronkhorst 的微型热式质量流量计（MFM）系列，专为小流量气体测量设计，适用于实验室、半导体工艺和医疗设备。

1. 标准型号与参数

型号            量程范围         精度        重复性           接口                      典型应用

D-63010…5 mln/min        ±1% RD   ±0.2% RDRS-232, Analog      实验室气体分析

D-63050…50 mln/min±1% RD        ±0.2% RDRS-485, Modbus       半导体工艺气体监控

D-63100…100 mln/min±1% RD        ±0.2% RDEtherCAT               医疗呼吸设备校准

D-63200…200 mln/min±1% RD        ±0.2% RDPROFIBUS-DP       工业气体混合系统

关键特性

  测量原理：热式（恒温差法），直接输出质量流量（无需温压补偿）。

  响应时间：< 1 秒（T90）。

  材料兼容性：316L 不锈钢、哈氏合金（可选），支持腐蚀性气体（如 Cl₂、HF）。

  防护等级：IP65（防尘防水）。

2. 定制化选项

    特殊气体校准（如 H₂、He、Ar、N₂O）。

    防爆认证（ATEX、IECEx）。

    集成压力传感器（可选 ±0.1 bar 补偿）。

配套设备与软件

  .FLOWDIGITAL 软件

        用于流量计配置、数据记录和实时监控。

  .多通道流量控制系统

        支持 D-6300 系列 + EL-FLOW® 控制器 构建复杂气路。

应用场景

半导体制造：CVD/ALD 工艺气体流量控制。

医疗设备：麻醉机、呼吸机的气体流量监测。

能源研究：燃料电池氢气流量测量。

实验室：微型反应器气体配比。

总结

.MASS-STREAM® D-6300 系列是 Bronkhorst 针对微小气体流量的高精度解决方案，覆盖从实验室到工业的多种需求。

.标准型号涵盖 5–200 mln/min 量程，支持主流通信协议，并可定制气体类型和接口。

（注：mln/min = 毫升标准状态/分钟，RD = 读数百分比。）

其他注意事项：

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。

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