ASML Holding N.V.（全称：Advanced Semiconductor Materials Lithography，中文：阿斯麦）是全球领先的半导体光刻设备制造商，总部位于荷兰费尔德霍芬（Veldhoven）。公司专注于研发和生产用于芯片制造的光刻机，其技术是半导体行业的核心驱动力之一。

YieldStar 系列产品型号及特点

YieldStar 125

应用：适用于成熟制程的光刻工艺监控。

功能：基础版量测系统，提供套刻误差（overlay）和关键尺寸（CD）的快速检测。

YieldStar 135

升级点：更高精度的量测能力，支持更复杂的工艺节点（如28nm及以上）。

技术：增强型光学传感器和算法，提升振动补偿性能。

YieldStar 145

先进制程支持：专为7nm、5nm等先进节点设计，精度达亚纳米级。

集成性：可与EUV光刻机协同工作，实时反馈数据优化曝光过程。

YieldStar 375/375E

高性能型号：针对3nm及以下制程，支持多参数量测（套刻、聚焦、剂量等）。

EUV兼容：优化用于EUV光刻环境，减少噪声干扰。

技术亮点

振动补偿：通过实时监测晶圆台振动，动态调整光刻机参数，确保曝光精度。

多波长光学技术：部分型号支持多种波长量测，适应不同材料层。

其他注意事项：

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。

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