日本 Rorze 是全球领先的半导体晶圆传输机械手（Wafer Handling Robot）厂家，其产品广泛应用于大气（Atmospheric） 和真空（Vacuum）环境下的晶圆搬运。以下是 Rorze 主要的晶圆传输机械手型号及其特点：

1. 大气机械手（常压环境晶圆搬运机器人）

适用于 洁净室环境，主要用于晶圆搬运、检测、分选等制程。  

（1）RF / RFA 系列（通用型）

- RF-2000 / RF-3000  

  - 适用于200mm / 300mm 晶圆传输。  

  - 高精度（±0.1mm）、高速（1-2s/cycle）。  

  - 用于半导体前道（如光刻、刻蚀）和后道（封装、测试）。  

- RFA-200 / RFA-300  

  - 升级版，优化 加速度和稳定性。  

  - 适用于 高产能FAB厂。  

（2）RGV / RGA 系列（高负载型）

- RGV-300  

  - 适用于 300mm 晶圆，支持多片搬运（如 2~4 片）。  

  - 用于 CMP（化学机械抛光）、Metrology（量测） 设备。  

2. 真空晶圆机械手（真空环境晶圆搬运机器人）

适用于高真空（HV）、超高真空（UHV）环境，如 PVD、CVD、Etch 等制程。  

 （1）RV 系列（标准真空）

- RV-3 / RV-4  

  - 适用于 300mm / 450mm 晶圆（部分型号支持）。  

  - 真空等级 10⁻⁶ ~ 10⁻⁹ Torr。  

  - 用于 刻蚀（Etch）、薄膜沉积（CVD/PVD）。  

 （2）RVV 系列（超高真空 & 抗腐蚀）

- RVV-300  

  - 适用于 腐蚀性气体环境（如 等离子体刻蚀）。  

  - 采用 特殊涂层（Al₂O₃、Y₂O₃） 防污染。  

 （3）RVM 系列（磁悬浮驱动）

- RVM-300  

  - 采用 磁悬浮（Magnetic Levitation）技术，无接触磨损。  

  - 超高精度（±0.05mm），寿命更长。  

  - 用于 EUV 光刻、先进封装。  

---

 3. 特殊应用机械手

 （1）RHT 系列（高温环境）

- 适用于 高温（200°C+） 制程，如 退火（Annealing）、扩散（Diffusion）。  

 （2）RCD 系列（协作机器人）

- 用于 AMHS（自动物料搬运系统），与 OHT（Overhead Hoist Transport） 配合使用。  

---

 4. 如何选型？

| 需求 | 推荐型号 |

|----------|-------------|

| 200mm 大气搬运 | RF-2000 / RFA-200 |

| 300mm 高产能FAB | RFA-300 / RGV-300 |

| 真空刻蚀 / CVD | RV-3 / RVV-300 |

| EUV / 先进封装 | RVM-300 |

| 高温制程 | RHT-300 |

其他型号：

RR756L15

RR757L15

RR759L27

RR481L200

RR481L230

RR481L300

RR491L300

RR492L400

RR493L180

RR493L200

RR493L230

RR493L300

RA320-C22-L

RA320-822-W

RA321-C0C-BW

RA420-6CV-L

RA420-48V-L

RV201-F07-0

RV201-F07-C

RV201-F07-G

RV201-F07-N

RV201-F07-T

PLVS

ACE EFEM

ACE SORTER

N2-BWS

若需 校准器（晶圆对准装置）、装载端口（晶圆载入/载出接口）、真空平台、EFEM/SORTER（设备前端模块/分拣器）、储片库（晶圆存储仓）及 特定型号的报价或技术对比，可以提供您的 工艺需求（如晶圆尺寸、真空等级、速度要求），我们可以进一步推荐合适型号！